新興的光電材料生產、加工、清洗；LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質燈管顯像管、微電子工業、FPC/PCB線路板、電路板、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高，這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求，目前工業部電子級水質技術標準將超純水水質劃分為五個等級（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準），電阻率大於10MΩ.cm的水一般被稱作超純水，小於則叫做純水。


一般情況下工業超純水製備有以下幾種常規設計方式：

1、原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→軟水器→保安過濾器→反滲透係統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統工藝)

2、原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→軟水器→保安過濾器→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(最新工藝)


3、原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→軟水器→保安過濾器→一級反滲透→加藥機（PH調節）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(最新工藝)

4、原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→軟水器→保安過濾器→反滲透係統→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(最新工藝)

5、原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→軟水器→保安過濾器→反滲透係統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)

6、原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→軟水器→保安過濾器→反滲透係統→純水箱→混床增壓泵→超純水箱→10MΩ.CM用水點

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